油擴(kuò)散泵抽氣(qì)系統(tǒng)的*缺(quē)點(diǎn)是(shì)油蒸(zhēng)汽的(de)污染。
系統(tǒng)中污染(rǎn)物的主要來源如下：
(1)擴(kuò)散泵(bèng)油蒸(zhēng)汽的(de)返流。這是(shì)最重(zhòng)大的污染(rǎn)源。
(2)系(xì)統中(zhōng)的零部件(jiàn)，在裝配時用有(yǒu)油的(de)手拿。用有油污的(de)手套拿(ná)，這樣(yàng)粘(zhān)染的有(yǒu)機分子(zǐ)可(kě)以造成系統内(nèi)的污(wū)染。
(3)前(qián)級油封機械泵油的返流(liú)。這個(gè)問題也很嚴重，當(dāng)入(rù)口壓(yā)力較高時，在達(dá)到過(guò)渡區(qū)(1～10-1pa)壓力時，機(jī)械泵的油(yóu)蒸汽即可(kě)直(zhí)接(jiē)進入擴散泵内，對系統直接進行污染(rǎn)。很多真(zhēn)空工(gōng)藝過程的(de)污染來自(zì)機械(xiè)泵返(fǎn)油。當(dāng)停機械泵時(shí)如不及(jí)時向泵内(nèi)放大(dà)氣，機械泵(bèng)油可(kě)直接(jiē)返到擴散(sàn)泵油(yóu)鍋(guō)内。當擴散泵起(qǐ)動時對(duì)系統(tǒng)的污染更為嚴重。
(4)抽(chōu)氣系(xì)統中密封(fēng)材料(liào)的放氣造(zào)成的(de)污染。特别是人(rén)造橡(xiàng)膠密(mì)封圈，密封油脂，潤滑(huá)油等，也同樣造(zào)成嚴重的(de)污染(rǎn)。
(5)當停泵(bèng)後(hòu)放大(dà)氣時，使真空零(líng)部(bù)件(jiàn)在空氣中粘污(wū)上(shàng)水蒸汽(qì)，油煙(yān)等，造成對(duì)真空系(xì)統的污(wū)染。
消除系統油(yóu)蒸氣返流的具(jù)體措施為：
(1)加大擴散泵的啟動(dòng)功率(lǜ)來縮(suō)短機械泵與擴散泵切換時的壓力過渡區。
(2)通(tōng)過(guò)改(gǎi)變系統操(cāo)作工(gōng)藝和(hé)用閥門來(lái)避開返(fǎn)流危險區（切換過渡區(qū)）。例如，可使一個(gè)按照預定(dìng)速度(dù)開啟(qǐ)的(de)高真空(kōng)閥，逐漸地開啟(qǐ)它，保證進(jìn)入擴(kuò)散泵(bèng)的(de)氣體流量低于它(tā)的*排(pái)氣量(liàng)，并且又使機械泵抽(chōu)速保證擴散泵(bèng)前級(jí)壓力，以(yǐ)使擴散泵能樹(shù)立(lì)工作(zuò)。這樣就能(néng)避開(kāi)過渡(dù)區的(de)出現(xiàn)。
(3)改(gǎi)善(shàn)操作工藝，将擴(kuò)散(sàn)泵的加(jiā)熱功率調(diào)至*功率，避(bì)免出(chū)現泵(bèng)油爆沸現象；一(yī)般擴散泵(bèng)在加(jiā)熱開始和關閉(bì)過程中，返流将(jiāng)出現(xiàn)峰值(zhí)，所以(yǐ)可用(yòng)泵(bèng)口(kǒu)處的(de)高真(zhēn)空閥門來(lái)控制避免返(fǎn)流(liú)。
(4)在擴散泵(bèng)入口(kǒu)處加裝液氫冷(lěng)阱或(huò)吸附(fù)阱來(lái)捕集返流(liú)油蒸(zhēng)氣。
(5)選用*的擴散(sàn)泵工作液。