油擴散泵抽氣系統的*缺點(diǎn)是油蒸汽的污染。
系統中污(wū)染物的主要來源如下：
(1)擴(kuò)散泵油蒸汽的(de)返流。這是最重大的(de)污染源。
(2)系統中的零部件，在裝配時用有油的手拿。用有油污的手(shǒu)套拿(ná)，這樣粘染的有機(jī)分子(zǐ)可以造(zào)成系統内的污染。
(3)前級油封機械泵油的(de)返流。這個問題也很(hěn)嚴重，當入口壓力較高時，在達到(dào)過渡區(1～10-1Pa)壓力時，機械泵的油蒸汽即可直接進入擴散(sàn)泵内，對系統直接進行污染。很多真空工藝過程的污染來自機械泵返油。當停機械泵時如不及(jí)時向泵内放大氣，機(jī)械泵油可(kě)直接返到(dào)擴散泵油鍋内。當擴散泵起動時對系統的污染更為嚴重。
(4)抽氣系統中密封材料(liào)的放氣造成的污染。特别是人造橡膠密封圈，密封油脂，潤滑油等(děng)，也同樣(yàng)造成嚴重的污染。
(5)當停泵後(hòu)放大氣時(shí)，使真空零部件在空氣中粘污上水蒸汽，油煙等，造成對真空(kōng)系統的污染。
消(xiāo)除(chú)系統油蒸氣返流的具(jù)體措施為：
(1)加大擴散泵的啟動功率來縮短機械泵與擴散泵切換時的壓力過渡區(qū)。
(2)通過改(gǎi)變系統操(cāo)作工藝和(hé)用閥門來(lái)避開返流危險區(qū)（切換過渡區）。例(lì)如，可使一個(gè)按照預定速度開啟的高(gāo)真空閥，逐漸地開啟它，保證進入擴散泵的氣體流量低于它的*排氣量，并且又使機械(xiè)泵抽速保證擴散泵前級壓力，以使(shǐ)擴散泵能樹立工(gōng)作(zuò)。這樣就能避開過渡區的出現。
(3)改善操作工藝，将擴散泵的加(jiā)熱功率調(diào)至*功率，避免出現泵油爆沸現象；一般擴(kuò)散泵在加(jiā)熱開始和關閉過(guò)程中，返流将出現峰值，所以(yǐ)可用泵口處的高真空閥門來控制避免返流。
(4)在擴散泵入口處加(jiā)裝液氫冷阱或吸附阱來捕集返流油蒸氣。
(5)選用(yòng)*的擴散泵工作(zuò)液(yè)。